´ã´ç¾÷¹«
¤ý°øÁ¤Àåºñ Àåºñ Software °³¹ß
¤ý¼º´É°³¼±, SW CS, DemoÀåºñ SW°ü¸® µî Set-up
ÀÚ°Ý¿ä°Ç
¤ýÇз : ÃÊ´ëÁ¹ÀÌ»ó
¤ý°æ·Â : °æ·Â8³â¡è
¤ýEasy
Cluster(ÀÌÁöŬ·¯½ºÅÍ)°æÇèÀÚ, Àåºñ SW°³¹ß °æÇèÀÚ¤Ó
¿ì´ë»çÇ×
¤ýPlasma(ÇöóÁ)Àåºñ °æ·ÂÀÚ(Etch, Asher, Sputter, CVD µî)