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- Àåºñ Process ¹× Recipe Parameter ºÐ¼® ¹× Àåºñ I/F Ç¥ÁØ Åë½Å »ç¾ç¼ ºÐ¼®/¼³°è/°ü¸®/¹èÆ÷
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- Automation / Main Process ¼³ºñ ±â±¸ºÎ ¹× »ç¾ç¼ ºÐ¼®, Event ó¸® Logic °³¹ß
- ÀÚÀç/ºÎÀÚÀç, ¹ÝÁ¦Ç°/Á¦Ç° ¹Ý¼ÛÀ» À§ÇÑ Logic ¼³°è ¹× °³¹ß
- Stocker ¹× Stacker µî ¹°·ù ÀÚµ¿È¸¦ À§ÇÑ ¹öÆÛ °ü¸®
- RMS/SPC/YMS/FDC µî »óÀ§ ½Ã½ºÅÛÀ¸·ÎÀÇ Data I/F °³¹ß
- SEMI E30/E37/E87/E10/E82/E88 µî Ç¥ÁØ ±â¹Ý »ç¾ç¼ ÀÛ¼º/ºÐ¼®, Data Åë½Å °³¹ß ¹× °ü¸®
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