[´ë±â¾÷ ¹ÝµµÃ¼È¸»ç]
°íÀü·Â ¼ÒÀÚ TCAD (°æ·Â)
| ´ã´ç¾÷¹« | ÀÚ°Ý¿ä°Ç | Àοø |
|---|---|---|
|
[´ã´ç¾÷¹«] - °íÀü·Â ¼ÒÀÚ BEOL¿¡ ´ëÇÑ TCAD ºÐ¼® ±â¼ú È®º¸ - ¹ÝµµÃ¼ BEOL ¿µ¿ª ±â°èÀû/Àü±âÀû ºÒ·®¿¡ ´ëÇÑ ¿øÀÎ ºÐ¼® ¹× °³¼± [±Ù¹«ºÎ¼ ¹× Á÷±Þ/Á÷Ã¥]
|
[ÀÚ°Ý¿ä°Ç] - ÇзÂ: ¼®»çÀÌ»ó (¹ÝµµÃ¼ Àç·á) - ¹ÝµµÃ¼ BEOL °ü·Ã Simulation °æ·Â: 2³âÀÌ»ó [¿ì´ë»çÇ×] - BEOL ±â°èÀû/Àü±âÀû failure ºÐ¼® °æ·Â º¸À¯ÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤/Àç·á °ü·Ã ¹Ú»çÇÐÀ§ º¸À¯ÀÚ
[±Ù¹«Áö] °æ±â ºÎõ |
1 ¸í |
±Ù¹«Á¶°Ç
ÀüÇü´Ü°è ¹× Á¦Ãâ¼·ù
Á¢¼ö¹æ¹ý
2025³â 12¿ù 06ÀÏ ~ ä¿ë½Ã ¸¶°¨
±âŸ À¯ÀÇ»çÇ×
