BEOL °ü·Ã TCAD °æ·Â/
(¼®,¹Ú»ç±Þ)
- ¹ÝµµÃ¼(ÄÚ½ºÇÇ)
¸ðÁýºÎ¹® ¹× ÀÚ°Ý¿ä°Ç
| ¸ðÁýºÎ¹® | ´ã´ç¾÷¹« | ÀÚ°Ý¿ä°Ç | Àοø |
|---|---|---|---|
BEOL °ü·Ã TCAD °æ·Â/ (¼®,¹Ú»ç±Þ) |
[´ã´ç¾÷¹«] ¤ý°íÀü·Â ¼ÒÀÚ BEOL¿¡ ´ëÇÑ TCAD ºÐ¼® ±â¼ú ¿¬±¸ ¤ýBEOL ¿µ¿ª ±â°èÀû/Àü±âÀû ºÒ·®¿¡ ´ëÇÑ ¿øÀÎ ºÐ¼® ¹× °³¼± |
[ÀÚ°Ý¿ä°Ç] ¤ýÇзÂ: ¹ÝµµÃ¼ Àç·á À¯°ü ¼®,¹Ú»ç±Þ ¤ý¹ÝµµÃ¼ BEOL °ü·Ã Simulation °æ·Â 2³â ÀÌ»ó~
[¿ì´ë»çÇ×] ¤ý°íÀü·Â ¼ÒÀÚ BEOL °ü·Ã TCAD Simulation °æ·Â ȤÀº Àü°øÀÚ ¤ýBEOL ±â°èÀû/Àü±âÀû failure ºÐ¼® °æÇèÀÚ ¤ý¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤/Àç·á °ü·Ã ¹Ú»çÇÐÀ§ º¸À¯ÀÚ [±âŸ»çÇ×] ¤ýä¿ë±¸ºÐ: Á¤±ÔÁ÷ ¤ý¿¬ºÀ: ÈíÁ·ÇÏ°Ô ÇùÀÇ/ ¿ª·® ¿ì¼öÇϽŠºÐ¸¸ |
0 ¸í |
±Ù¹«Á¶°Ç
ÀüÇü´Ü°è ¹× Á¦Ãâ¼·ù
Á¢¼ö¹æ¹ý
±âŸ À¯ÀÇ»çÇ×